随着半导体工艺的不断发展,对半导体表面平整度和光泽度的要求越来越高,传统的机械抛光技术已经不能满足需求。铜合金自动抛光设备作为一种新兴的表面处理技术,具有、、无污染等优点,在半导体行业中的应用前景广阔。铜合金自动抛光设备不仅可以用于晶圆的表面抛光和去除氧化物,还可以用于半导体器件的表面平整化和去除残留物等方面,具有重要的应用价值。
由于链条属于带有中间挠性件的啮合传动,所以可获得准确的平均传动比。链条预紧力小,所以链条轴压力小,而传递的功率较大,效率较高,链条还可以在高温、低速、油污、粉尘等情况下工作。 与齿轮传动相比,两轴中心距较大,制造与安装精度要求较低,成本低廉。链条运转时不能保持恒定的瞬时传动比和瞬时链速,所以传动平稳性较差,工作时有噪音且链速不宜过高。
铜合金自动抛光设备操作在正常操作不会出现安全问题,严禁设备在运行时打开设备箱门和电源箱门,设备箱门里面有传动机构、也有电源线、有些线头都是直接锁到挂架上、没有作任何安全防护措施,正常情况下箱门装上是碰不到的、但拆开箱门就有可能触碰到,还有铜合金自动抛光设备在远行时提作面板上高压指示灯会,闪一闪的,表示有高压电存在,当设备抛光完成后门打开 一点确认此灯有没有熄灭,如果还亮则表示挂具上带电、此时切记不要去取挂具,得等灯熄灭后才可以去取,并通知设备维修人员来检测维修、处理好后再继续生产。
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